数字化输出是智能传感器的典型特征之一，它不仅仅是模拟-数字转换实现简单的数字化，而是从机理上实现数字化输出。其中，谐振式传感器具有直接数字输出、高稳定性、高重复性、抗干扰能力强，分辨力和测量精度高等优点。传统写真式传感器的频率信号检测需要较复杂的设计，这限制了其的广泛应用和在工业领域内的发展。而现在只需在同一硅片上集成智能检测电路，就可以迅速提取频率信号从而使谐振式微机械传感器成为国际上传感器的研究热点。

        数据融合是一种数据综合和处理技术，是许多传统学科和新技术的集成和应用，如通信、模式识别、决策论、不确定性理论、信号处理、估计理论、最优化处理、计算机科学、人工智能和神经网络等。目前，数据融合已成为集成智能传感器理论的重要领域和研究热点。即，对多个传感器或多源信息进行综合处理、评估，从而得到更为准确、可靠的结论。因此，对于多个传感器组成的阵列，数据融合技术能够充分发挥各个传感器的特点，利用其互补性、冗余性，提高测量信息的精度和可靠性，延长系统的使用寿命。近年来，数据融合又引入了遗传算法、小波分析技术和虚拟技术。

        智能传感器代表着传感器发展总趋势，它已经受到了全世界范围的瞩目和公认，因此，可以说智能传感器是一种发展前景十分看好的新传感器。今后,随着硅微细加工技术的发展,新一代的智能传感器的功能将会更加增多。它将利用人工神经网、人工智能、信息处理技术等,使传感器具有更高级的智能功能,同时,它还将朝着微传感器、微执行器和微处理器三位一体构成一个微系统的方向发展。